Bơm chân không DVE kiểu dầu là loại bơm chân không DVE thường được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn. Tính năng chính là chân không cao, có thể đáp ứng các yêu cầu quy trình đặc biệt của các ngành công nghiệp mới. Trong số đó, máy bơm chân không DVE cánh quay và máy bơm chân không DVE cánh quay là những đại diện chính.

Với thời gian trôi qua và sự tiến bộ của xã hội, hiệu suất của chúng trong các ứng dụng khác nhau ngày càng kém đi sự hài lòng của mọi người. Ví dụ, máy bơm chân không DVE cánh quay không thể bơm hơi nước, khí ngưng tụ và khí ăn mòn,… do đó, Máy bơm chân không DVE khô ra đời.

Trong khoảng mười năm trở lại đây, một số loại máy bơm chân không DVE khô khác nhau đã được thiết kế và sản xuất, và chúng có sự khác biệt rõ ràng về thiết kế cấu trúc cơ khí. Chính vì sự khác biệt này mà chúng ta có thể khái quát máy bơm chân không DVE khô thành các loại sau: loại chia tròn, loại có móng vuốt, loại kết hợp (Roots vuốt), loại trục vít. Ngày nay, những loại này được sử dụng rộng rãi bởi các nhà sản xuất khác nhau.

Trong số đó, loại tách tròn, loại vuốt và loại kết hợp (Rễ vuốt) được gọi là bơm nhiều tầng. Bởi vì chúng hoạt động theo cách gần giống nhau, chúng đều sử dụng buồng chân không nhiều tầng để nén khí nhiều lần để tạo ra chân không. Trong quá trình nén nhiều lần, nhiệt độ và áp suất của chất khí cũng sinh ra những biến đổi phức tạp hơn nên dễ gây ra sự biến đổi tính chất vật lý của chất khí.

Loại trục vít được gọi là bơm một cấp vì nó chỉ dựa vào một buồng chân không để tạo ra chân không. Theo các phương pháp nén khí khác nhau của nó, nó có thể được chia thành máy bơm trục vít loại nén bên trong và máy bơm trục vít loại nén bên ngoài.